在操控過程中，由測厚探頭檢測到薄膜厚薄信號傳送到計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)把厚薄信號與當(dāng)時(shí)設(shè)定均勻厚度進(jìn)行對照，根據(jù)厚薄偏差量以及曲線改動趨勢進(jìn)行運(yùn)算，操控電機(jī)驅(qū)動閥門移動，當(dāng)薄膜偏厚時(shí)，電機(jī)正向移動，風(fēng)口關(guān)小；相反，電機(jī)反向移動，風(fēng)口增大，通過改動風(fēng)環(huán)圓周…